Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытания и эксплуатации

Книга является сборником материалов, написанных известными экспертами по контролю микрозагрязнений и технологической чистоте. Она получила заслуженное признание за рубежом, где выдержала уже два издания. В книге кратко изложены основные понятия техники чистых помещений, их история, дан подробный обзор стандартов по чистым помещениям. Значительное внимание уделено особенностям проектирования чистых помещений для микроэлектроники, производства изделий медицинской техники, фармацевтической и биотехнологической промышленности. Подробно рассмотрены различные методы получения чистой и сверхчистой воды, а также производство и распределение чистых технологических газов. Отдельные главы посвящены конструкционным и отделочным материалам, материалам для трубопроводов, фильтрации воздуха и экономическим аспектам проектирования чистых производственных помещений. Книга рекомендуется широкому кругу специалистов, занимающихся вопросами технологической чистоты, проектированием и созданием чистых помещений, а также в качестве учебного пособия для вузов и курсов переподготовки и повышения квалификации работников, занятых эксплуатацией чистых помещений.